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产品基本信息
产品名称:半导体陶瓷吸附定位块加工
材料类型:氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化铝陶瓷及客户指定高硬脆绝缘陶瓷材料。
产品结构:单件陶瓷定位块,包含吸附孔、定位孔、沉孔、浅槽、台阶、方形窗口、倒角和精密基准面。
适用场景:半导体检测设备、晶圆搬运定位、真空吸附治具、洁净承载平台、光电设备和精密自动化模块。
服务方式:支持来图加工、样件验证、小批量配套和高硬脆材料精密加工方案评估。
核心功能
半导体陶瓷吸附定位块常用于设备内部的绝缘支撑、洁净承载和真空吸附定位。陶瓷材料具有硬度高、绝缘性好、耐磨、耐腐蚀和热稳定性好的特点,适合洁净环境下使用。该类零件通常要求孔位准确、平面度稳定、边缘无崩边,并能满足设备装配和重复定位要求。
图示零件为单个白色陶瓷块,包含多处小孔、台阶、开窗和浅槽结构。加工难点集中在硬脆材料开孔、边缘崩缺控制、薄边结构保护和表面洁净处理。
技术特点
1. 高硬脆材料加工需控制崩边。陶瓷零件钻孔、磨削和开槽时容易出现边缘微崩,需要采用合适的金刚石刀具、冷却方式和进给参数。
2. 孔位和基准面精度要求高。吸附孔、定位孔和装配孔需要与设备基准保持一致,避免影响真空吸附效果和重复定位精度。
3. 表面洁净度适合半导体场景。加工后需要关注陶瓷粉尘、孔内残留和表面污染,按客户要求进行清洗、检查和包装。
4. 支持复杂非标结构定制。可按图纸加工方形窗口、阶梯面、浅槽、微小孔、倒角和定位结构。
产品参数
| 产品类型 | 陶瓷吸附定位块、真空治具块、绝缘支撑块、半导体陶瓷零件 |
| 常用材料 | 氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化铝陶瓷及客户指定材料 |
| 典型结构 | 小孔、沉孔、定位槽、浅槽、方形窗口、台阶、倒角 |
| 加工方式 | 陶瓷磨削、钻孔、开槽、倒角、精修、清洗检测 |
| 参考精度 | 常规±0.02mm,孔位、平面度和崩边要求按图纸评估 |
| 交付形式 | 样件打样、小批量加工、设备项目配套 |
如何下单
第一步,发送图纸。将 STEP、STP、DWG、PDF 或 SolidWorks 格式的图纸发送至微信,或拨打 17751118438 联系工程师。
第二步,工程评估。工程师根据材料、结构、精度、数量和交期进行工艺评审,并反馈可加工建议。
第三步,确认报价。确认加工方案、表面处理、检测要求、包装方式和交付时间后提供正式报价。
第四步,安排生产。双方确认后安排生产,打样件和小批量订单按项目难度确定交付周期。
常见问题
问:陶瓷吸附定位块加工会不会崩边?
答:陶瓷属于硬脆材料,微崩风险客观存在,可通过刀具、参数、倒角和检测方式控制。
问:小孔和孔位精度可以保证吗?
答:可以按图纸评估孔径、孔距、垂直度和平面度要求,必要时使用专用工艺加工。
问:该零件适合半导体洁净设备吗?
答:陶瓷材料绝缘、耐磨且洁净性较好,常用于半导体设备定位、吸附和支撑结构。
问:是否支持单件样品?
答:支持,建议提供3D模型、2D图纸、材料牌号、数量和崩边验收要求。
问:加工后能否清洗包装?
答:可按项目要求进行表面清洗、孔内检查和独立包装,具体标准下单前确认。
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